SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究

	SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究
	蒋美萍 ; 李金华 ; 林成鲁
刊名	微细加工技术
	1996
期号	03
关键词	K1 SIMOX RBS分析 SOI结构
ISSN号	10038213
中文摘要	在高温外延气氛下，ＳＩＭＯＸ结构会被损伤、退化。本文用卢瑟福背散射技术分析了这种退化，指出这种退化主要是高温下氢对表层硅的反应剥蚀及氢经表层硅中穿透性位错使埋层ＳｉＯ２分解。
语种	中文
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104250]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	蒋美萍,李金华,林成鲁. SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究[J]. 微细加工技术,1996(03).
APA	蒋美萍,李金华,&林成鲁.(1996).SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究.微细加工技术(03).
MLA	蒋美萍,et al."SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究".微细加工技术 .03(1996).