78K红外吸收法测定硅中氧含量

	78K红外吸收法测定硅中氧含量
	李月珍 ; 沈金媛 ; 任宁 ; 王其闵
刊名	应用科学学报
	1985
期号	02
ISSN号	0255-8297
中文摘要	<正> 硅中氧含量的测定是评价硅单晶质量的重要参数之一.用外红吸收法测定硅单晶中的氧含量已有许多报道.我们曾建立了300K9μm红外吸收法测氧标定曲线,低温可提高检测灵敏度,因此本工作主要是建立较精确的78K红外测氧标定曲线.在Perkin-Elmer577型红外分光光度计光路上插入低温容器.进行78K红外测量.红外窗口材料用NaCl或KBr盐片,试样用螺丝铜环压紧在铜样品架上,温度用铜-康铜热电偶测量,试样达到液氮温度数分钟后,开始进行红外吸收测定,温度控制在
语种	中文
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103704]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	李月珍,沈金媛,任宁,等. 78K红外吸收法测定硅中氧含量[J]. 应用科学学报,1985(02).
APA	李月珍,沈金媛,任宁,&王其闵.(1985).78K红外吸收法测定硅中氧含量.应用科学学报(02).
MLA	李月珍,et al."78K红外吸收法测定硅中氧含量".应用科学学报 .02(1985).