27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布

	27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布
	王震遐 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 邹志宜 ; 周祖尧 ; 周伟
刊名	核技术
	1988
期号	04
ISSN号	0253-3219
中文摘要	用27keV Ar~+分别在垂直和倾斜入射情况下,轰击了Cu-Au(30wt％)合金样品,测量了Cu和Au原子的溅射角分布。角分布是用卢瑟福背散射(RBS)技术分析Al捕获膜上的Cu-Au沉积成分而定量得到的。结果表明:(1)在Ar~+倾斜(θ=40°)入射时,Cu原子择优发射,且程度比垂直入射(θ_r=O°)时增强:(2)倾斜入射时,Cu原子的角分布显示出在接近于样品表面法线方向的发射角范围内(θ<45°),发射机率比垂直入射时减小。
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103688]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	王震遐,陶振兰,郑里平,等. 27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术,1988(04).
APA	王震遐.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,邹志宜.,...&周伟.(1988).27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布.核技术(04).
MLA	王震遐,et al."27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布".核技术 .04(1988).