钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究 | |
曾建明 ; 王弘 ; 王民 ; 尚淑霞 ; 王卓 ; 程建功 ; 林成鲁 | |
刊名 | 功能材料与器件学报
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1997 | |
期号 | 02 |
ISSN号 | 1007-4252 |
中文摘要 | 本文报道了用常压金属有机化学气相沉积(APMOCVD)法在Si衬底上制备高质量的钛酸钡铁电薄膜。钡的β二酮螯合物[Ba(DPM)2]和异丙氧基钛(TIP)作为金属有机源,在衬底温度为7000C时,在Si(100)衬底上生长的钛酸钡薄膜是多晶膜,表面光滑、平整。经快速退火(T=7500C)后,薄膜具有完全的[001]取向,其介电常数(ε)为107。研究了衬底温度与薄膜的结晶性和取向性的关系;讨论了半导体衬底对钛酸钡铁电薄膜物理性质的影响;得到了薄膜的剩余自发极化强度(Pr)为20μC/cm2,矫顽电场( |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-29 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/103631] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾建明,王弘,王民,等. 钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究[J]. 功能材料与器件学报,1997(02). |
APA | 曾建明.,王弘.,王民.,尚淑霞.,王卓.,...&林成鲁.(1997).钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究.功能材料与器件学报(02). |
MLA | 曾建明,et al."钛酸钡铁电薄膜的常压MOCVD制备及其物理性质的研究".功能材料与器件学报 .02(1997). |
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