Squeeze film air damping in MEMS | |
Bao, MH ; Yang, H | |
刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
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2007 | |
卷号 | 136期号:1页码:3-27 |
关键词 | TORSION MIRROR VACUUM MODEL ACCELEROMETER POLYSILICON SIMULATION |
ISSN号 | 0924-4247 |
通讯作者 | Bao, MH, Fudan Univ, State Key Lab ASIC & Syst, Shanghai 200433, Peoples R China |
学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation |
收录类别 | SCI |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2012-03-24 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95042] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Bao, MH,Yang, H. Squeeze film air damping in MEMS[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2007,136(1):3-27. |
APA | Bao, MH,&Yang, H.(2007).Squeeze film air damping in MEMS.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,136(1),3-27. |
MLA | Bao, MH,et al."Squeeze film air damping in MEMS".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 136.1(2007):3-27. |
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