| 题名 | 微机械陀螺的材料及器件设计研究 |
| 作者 | 陈yáo |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 王渭源 |
| 关键词 | DRIE技术 微机械陀螺 陀螺检测端 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 该论文"微机械陀螺的材料和器件设计研究"主要围绕两个方面开展工作.第一方面是中美合作项目"用于微传感器和微驱动器的电铸材料和电铸技术".选定Fe-Ni合金作为电铸材料,并就其电镀工艺、电镀材料性能及电铸技术三方面进行了研究.结合Si体微机械技术和电镀技术加工出一种新颖的Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁.第二方面是利用DRIE技术制作体硅微机械陀螺.在对双框架陀螺和梳状陀螺进行比较后,创造性地提出了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83738]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈yáo. 微机械陀螺的材料及器件设计研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 2000. |
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