| 题名 | 基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究 |
| 作者 | 赵本刚 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | 微电子机械系统 光学电流传感器 微纳安检流计 扭转微镜 双光纤准直器 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 高压大电流和微纳安电流的测量是电流传感器领域中的两个重要应用方向，这两类电流信号难以直接测量，必须对其信号进行处理、变换才能达到精确测量的目的。光学电流传感器与传统的电流互感器相比具有很多优点，但在实际应用中还受到多种因素的制约，其中温度引起的精度问题和传感头老化问题最为明显，目前还正处于研究和试验阶段。对于微纳安电流的测量，通常采用将输入电流进行放大的电路检测法，然而放大器对输入信号放大的同时也对干扰噪声进行放大，使测量结果产生较大的影响。 结合MEMS技术可大批量、高一致性、低成本的加工特点和光纤传感 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83387]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵本刚 . 基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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