| 题名 | 硅基薄膜复合衬底无源器件建模及其关键技术研究 |
| 作者 | 周紫卓 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 孙晓玮 |
| 关键词 | 硅基多层薄膜复合衬底 Al2O3 BCB 传输线 CPW滤波器 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着微波毫米波集成电路工作频率的不断升高，硅衬底的高频传输损耗急剧恶化。通过研究新材料、探索新工艺降低硅基电路的高频损耗具有十分重要的意义和应用前景。本文以新型材料Al2O3薄膜和广泛应用的封装材料BCB（苯并环丁烯）作为硅基电路介质层，提出了在普通Si(8-13Ω•cm)衬底上制备Si/Al2O3/BCB多层薄膜复合结构，并展开了对该衬底上传输线的损耗机理研究和无源电路建模的实验工作。结合新型硅基多层薄膜复合衬底，研究该衬底下微带传输线和CPW共面波导传输线的电磁特性和损耗机理，利用与常规IC制造工艺相 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 99 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83064]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周紫卓. 硅基薄膜复合衬底无源器件建模及其关键技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
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