| 题名 | ZnO压电薄膜谐振器及BYFO多铁体研究 |
| 作者 | 言智 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 宋志棠 ; 刘卫丽 |
| 关键词 | ZnO 压电薄膜 生物传感器 BYFO多铁体 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 现代检测技术要求传感器微型化、单元化、集成化；对于生物传感器，微量、高灵敏和特异性检测是其发展方向。传统的石英晶体微天平受本身厚度和面积的限制，难以获得高谐振频率和高灵敏度。由此，探索新型压电薄膜谐振器来替代传统石英晶体微天平成为目前生物传感器研究领域的热点。基于此，本课题开展了硅基ZnO薄膜谐振器的制备、性能及其生物检测应用的研究，获得了以下主要结果： 采用多靶磁控溅射的方法制备了ZnO基薄膜体声波谐振器。它由压电单元(Au／ZnO／Pt)和Bragg反射层(ZnO／Pt多层结构)组成。在制备过程中，气 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82874]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 言智 . ZnO压电薄膜谐振器及BYFO多铁体研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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