| 题名 | 相变存储单元热模拟及其CMP关键技术研究 |
| 作者 | 刘奇斌 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 宋志棠 |
| 关键词 | 相变存储器 有限元方法 化学机械抛光 湿法刻蚀 电学测试系统 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 相变存储器由于具有低功耗、读写速度快、抗疲劳、制作工艺与CMOS工艺兼容等特点,倍受业界青睐,是一种很有发展前景的非易失性新型存储器。本论文针对相变存储器,在国家重点基础研究发展计划、国家863计划、中国科学院以及上海市科委项目等资助下开展研究工作。本论文在大量的文献调研基础上,从目前相变存储器存在的主要问题出发,开展了一系列的研究工作,并获得了以下几个方面的结果; 1)为了提高器件的性能、降低相变存储单元的功耗,本论文用电学和传热学耦合模拟的方法,详细模拟了Reset和Set的工作过程。研究结果表明;影 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82823]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘奇斌 . 相变存储单元热模拟及其CMP关键技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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