| 题名 | 基于硅衬底的新型射频微机械开关 |
| 作者 | 黄蓉 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 ; 焦继伟 |
| 关键词 | 微电子机械系统 射频开关 共面波导 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 射频开关是射频通信网络中最基本的器件之一，本文提出了一种新型基于硅衬底的新型射频微机械丌关，介绍了射频微机械开关的设计原理和器件结构，提出了器件的近似力学分析模型，分析和优化器件的插入损耗和驱动电压参数，介绍了器件的制作工艺，最后给出器件的测试结果。具体内容包括： 介绍了各种射频微机械器件，特别是射频微机械开关。通过与其他传统射频开关的比较，总结了射频微机械开关具有结构简单、插入损耗小、工艺容差大、有利于降低成本和提高成品率等优势。基于此，我们在设计中采用了静电驱动式射频微机械开关结构。 详细分析了插入损 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82739]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄蓉 . 基于硅衬底的新型射频微机械开关[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
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