| 题名 | 碳纳米管场发射平板显示器件关键技术的研究 |
| 作者 | 冯涛 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 邹世昌 ; 王曦 |
| 关键词 | 碳纳米管 场发射 平板显示器 印刷法 三极管结构 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本文在国家973计划和上海市纳米专项的资助下，以碳纳米管场发射平板显示器件(CNT-FED)的实用化和产业化为目标，开展CNT-FED器件制备的关键技术研究。本论文中对涉及CNT-FED制备的全套工艺，包括碳纳米管阴极的制备、阴极场发射性能的改善、三极管器件结构的设计与实现以及器件的封装进行了全面研究，开发了一套基于低成本丝网印刷工艺的CNT-FED器件制备工艺，并最终获得了较好显示度的CNT-FED器件。本论文主要包含以下几部分内容： 一、设备研制 自行设计并建立了一台多功能超高真空系统。该系统集PEC |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82633]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯涛 . 碳纳米管场发射平板显示器件关键技术的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
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