| 题名 | 1310nm垂直腔面发射激光器设计与研制 |
| 作者 | 劳燕锋 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴惠桢 |
| 关键词 | 垂直腔面发射激光器 分布布拉格反射镜 晶片直接键合 结构设计 数值计算 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，VCSEL)是光纤通信系统中应用的重要光源之一，1310nm VCSEL器件能够满足当前大容量、千兆比特速率城域网的需求。然而，它的发展却受到了InP基分布布拉格反射腔镜(DistributedBragg Reflector，DBR)反射率低的限制。为了突破这个限制，诸如InP／GaAs异质兼容、InP基锑化物DBR和GaAs基有源材料生长等多项技术被应用于1310 nm VCSEL的研制，器件性能取得了一定 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82585]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 劳燕锋 . 1310nm垂直腔面发射激光器设计与研制[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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