参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究

	参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究
	张文明 ; 孟光 ; 周健斌 ; 陈杰宇
	2008
会议名称	第八届全国动力学与控制学术会议
会议日期	2008
关键词	微机电系统参数激励静电驱动共振传感器压膜阻尼非线性动力
中文摘要	提出参数激励作用下静电驱动微机电系统(MEMS)中梁式微结构共振传感器的动力学模型，采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析，探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律，结果表明：直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应，且使共振频率漂移到较小的数值范围，压膜阻尼对共振频率的影响较小，但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降。
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6844568.aspx
会议录	第八届全国动力学与控制学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56276]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张文明,孟光,周健斌,等. 参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究[C]. 见:第八届全国动力学与控制学术会议. 2008.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6844568.aspx.