单晶硅纳米梁的分子动力学模拟

	单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
	曹共柏 ; 焦继伟 ; 陈云飞 ; 李铁 ; 杨恒 ; 王跃林
	2006
会议名称	传感技术学报
会议日期	2006
关键词	分子动力学有限元连续介质近似谐振频率
中文摘要	本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1％,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能量的变化曲线得到,梁的谐振频率为2.32×1010Hz.与连续介质近似结果对比发现,该谐振频率对应的杨氏模量为101 GPa,小于体硅的131 GPa,说明在该尺度下杨氏模量小于体材料.另外,分子动力学结果显示,发热是纳米梁耗散机制的重要方式,即谐振能量转化为梁中原子的热运动动能.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6219271.aspx
会议录	传感技术学报
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56142]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	曹共柏,焦继伟,陈云飞,等. 单晶硅纳米梁的分子动力学模拟[C]. 见:传感技术学报. 2006.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6219271.aspx.