一种新颖的光调制热成像器件设计

	一种新颖的光调制热成像器件设计
	冯飞 ; 熊斌 ; 焦继伟 ; 王跃林
	2003
会议名称	第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期	2003
关键词	光调制热成像微机械热灵敏度红外成像
中文摘要	基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F—P腔),可动微镜的反射面和半透镜的反射面构成F—P腔的两上反射面.通过理论计算和ANSYS模拟,对器件结构进行了优化设计,器件的关键性能指标—热灵敏度可达10<'-8>m/K.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504955.aspx
会议录	第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56033]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	冯飞,熊斌,焦继伟,等. 一种新颖的光调制热成像器件设计[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504955.aspx.