微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 国内会议论文

	微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算
	孙远程 ; 鲍敏杭 ; 杨恒 ; 王跃林
	2003
会议名称	第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期	2003
关键词	压膜空气阻尼槽板结构微电子机械器件雷诺方程
中文摘要	对许多微传感器和微执行器(如微加速度计、微麦克风以及微开关等),压膜空气阻尼对器件性能有重要影响.分析MEMS器件压膜空气阻尼的传统方法是采用雷诺方程.为了降低阻尼的影响,一个简单有效的方法是在板上开孔或开槽,这样,空气将主要从孔或槽中泄出,减小了阻尼.事实上,在表面微机械技术中为了腐蚀牺牲层也需要开孔或槽.此前,我们针对孔板结构得到了修正的雷诺方程并以长条孔板为例得到了有限宽度和有限厚度孔板压膜阻尼的压强分布和阻尼力的解析结果.本文在前文的基础上推导出了一个槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504938.aspx
会议录	第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55666]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	孙远程,鲍敏杭,杨恒,等. 微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504938.aspx.