基于碳纳米管技术的新型微通道冷却器研究

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	基于碳纳米管技术的新型微通道冷却器研究
	张燕 ; 樊靖郁 ; 刘建影
	2009
会议名称	中国力学学会2009学术大会
会议日期	2009
关键词	微系统封装碳纳米管电子散热微通道冷却器散热性能
中文摘要	目前应用于微电子散热系统的微通道冷却器具有体积小、散热效率高、消耗功率低等优点。随着超大规模集成电路和高密度封装技术的迅猛发展，器件集成度不断提高，性能日益增强。为应对高功率芯片带来的更严峻散热要求，本文利用碳纳米管优良的导热性，在硅片上定向生长碳纳米管簇阵列制备得到新型微通道冷却器。实验测试分析了不同发热功率条件下，碳纳米管微通道冷却器的散热性能，并将其与无内部结构以及硅基槽道的常规微通道冷却器进行了比较。此外，对内部存在阵列结构的微通道冷却器流场和温度场进行了数值模拟，以分析不同流速、阵列结构的几何和
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7205139.aspx
会议录	中国力学学会2009学术大会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55628]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张燕,樊靖郁,刘建影. 基于碳纳米管技术的新型微通道冷却器研究[C]. 见:中国力学学会2009学术大会. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7205139.aspx.