低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

	低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
	刘翔 ; 皋华敏 ; 李铁 ; 周萍 ; 王跃林
	2009
会议名称	中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
会议日期	2009
关键词	微全分析系统数字微流控芯片静电力驱动
中文摘要	微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言，没有可动部件，不需要复杂的微泵微阀结构和控制，成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理，只需单层控制电极，工艺简单，通过优化结构，采用高介电常数介质层和减少介质层厚度，大大降低了液滴驱动电压。
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7196975.aspx
会议录	中国微米纳米技术学会第十一届学术年会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55498]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘翔,皋华敏,李铁,等. 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片[C]. 见:中国微米纳米技术学会第十一届学术年会. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7196975.aspx.