新一代硅——SOI技术的发展动向

	新一代硅——SOI技术的发展动向
	林成鲁
	2003
会议名称	2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会
会议日期	2003
关键词	半导体技术集成电路硅材料 SOI技术
中文摘要	本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况。
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx
会议录	2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55486]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	林成鲁. 新一代硅——SOI技术的发展动向[C]. 见:2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx.