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题名	SOI基光波导器件的模拟与实现
作者	曹共柏
学位类别	博士
答辩日期	2006
授予单位	中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
导师	张峰
关键词	SOI脊形波导 有限元方法 束传播方法 电感耦合反应离子刻蚀 定向耦合器
学位专业	微电子学与固体电子学
中文摘要	光纤通信的基础是光电子技术，其大量的光-电-光转换在一方面利用了成熟而廉价的集成电路技术，另一方面却也受到电子瓶颈的影响而限制了其通信容量的最大化。与微电子技术的发展一样，光电子技术或光子技术的发展目标仍然是集成，这类集成现在一般通称为光集成。光集成有两个方向，功能集成和个数集成，集成方式有光光集成和光电集成，而集成方法有单片集成和混合集成。硅材料无疑在集成光学里扮演了一个重要的角色，首先它的透明窗口恰好就在光通信频段；其次，其强大、廉价而成熟的微细加工工艺是光集成必不可少的；第三，硅的等离子体色散效应使
语种	中文
公开日期	2012-03-06
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82420]
专题	上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	曹共柏  . SOI基光波导器件的模拟与实现[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  . 2006.

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