| 题名 | 悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术 |
| 作者 | 郭南翔 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | MEMS 探卡 悬臂梁 自隔离 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 集成电路圆片级测试探卡主要应用于分片封装前对芯片电学性能进行初测。随着集成电路的发展,焊盘密度日益增加和电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感会对传统测试探卡的正常工作造成影响,难以得到正确的测试结果,从而难以对高密度、高速度电路芯片进行测试。结合先进的MEMS技术,本论文提出了一种采用铝通孔导电、金属自隔离结构的MEMS探卡,探卡由台阶结构的悬臂梁探针阵列构成。本论文主要论述了一种悬臂梁式圆片级MEMS测试探卡的设计、制作流程和导通电阻测试,探针的具体排列依据待测芯片(DUT)的管脚分布,同 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82390]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭南翔 . 悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2005. |
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