| 题名 | 栅结构微机械振动式陀螺 |
| 作者 | 熊斌 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微机械陀螺 角速度传感器 等效电路模型 空气阻尼 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文工作主要围绕所发明的一种无需真空封装，可在大气环境下工作的微 机械陀螺开展，进行了器件的设计、制作及其特性研究。 本论文通过分析微机械陀螺运动特性，得出如下结论：微机械陀螺要同时具 有高带宽和高灵敏度性能，它的驱动模态固有频率和检测模态固有频率必须有一 定的偏差；同时它的驱动模态和检测模态的阻尼要尽可能相同并尽可能小。 对陀螺静电驱动的分析表明，具有栅结构的微机械陀螺，可以运用切向静电 力驱动敏感质量块振动，并利用电容面积变化引起电容改变来检测敏感质量块的 运动。其法向静电力对器件特性的影响可以忽略 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82386]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌 . 栅结构微机械振动式陀螺[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2001. |
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