| 题名 | 新型平板显示器件的研究 |
| 作者 | 冯涛 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 邹世昌 ; 王曦 |
| 关键词 | 有机发光器件 场发射显示器 碳纳米管 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文主要包括“有机发光器件的薄膜封装”及“碳纳米管场发射显示器的研究”两部分工作。 一、有机发光器件的薄膜封装 在国家<八六三>计划资助下，我们较系统地研究了FAD方法制备的DLC膜和PECVD制备的氮化硅薄膜的防水汽渗透能力，确定了适合封装OLED器件的最佳工艺参数，最终成功地采用氮化硅薄膜实现了OLED器件的薄膜封装。经过寿命测试发现封装后的器件的寿命比未封装器件提高了两个数量级以上。 二、碳纳米管场发射显示器的研究 在国家自然科学基金的资助下，我们对CNT的场发射性能进行了研究，包括图形化CNT阴 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82359]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯涛 . 新型平板显示器件的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
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