| 题名 | 基于MEMS技术的角度可调谐光滤波器研究 |
| 作者 | 赵军 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | 微电子机械系统 可调光学滤波器 偏振效应 介质薄膜 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 可调谐光滤波器是现代光通信系统和传感器网络中的关键器件。研究和开发成本低、体积小、响应快、调谐范围宽以及偏振不敏感的可调谐光滤波器成为迫切需要。本文提出了一种基于MEMS(Micro-electro Mechanical System,微机电系统)工艺技术的新型结构的角度调谐光滤波器。该器件结构简单、易于制备、响应速度快、偏振相关损耗低且波长可在较大范围内连续可调,具有一定的实用价值。 文中采用技术成熟的多层介质膜滤波片进行滤波,并利用电磁驱动的微机械转动结构实现角度调谐。论文内容主要包括器件原理分析与总 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82352]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵军 . 基于MEMS技术的角度可调谐光滤波器研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2005. |
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