| 题名 | 基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究 |
| 作者 | 池积光 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 梳齿驱动 垂直驱动 塑性变形 自对准 KOH各向异性腐蚀 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 静电梳齿驱动器常用于实现平面内的横向驱动，但是实现非平面内的纵向驱动比较困难。国外很多学者采用正反对准、多次选择性刻蚀获得纵向有一定错位的可动梳齿和固定梳齿，从而实现纵向驱动，但是它很难实现可动梳齿和固定梳齿之间的精确对准，另外还需要进行多次干法刻蚀、淀积等工艺，步骤繁多而复杂，所以这种工艺成本高而且不实用。 本论文的主要工作是设计和制作一种基于塑性变形工艺的自对准垂直梳齿驱动器。设计的驱动器采用塑性变形的方法制作纵向存在一定错位的可动梳齿和固定梳齿，理论上施加30V的静电压，可以在纵向实现12.7um的 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82314]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 池积光 . 基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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