CORC  > 成都理工大学
等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究
杨发展; 沈丽如; 王世庆; 唐德礼; 金凡亚; 刘海峰
2013
卷号0页码:441-447
关键词脉冲辉光放电 类金刚石膜 Raman光谱 X-射线光电子能谱
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3410347
专题成都理工大学
作者单位1.[1]核工业西南物理研究院,成都610041
2.[2]成都理工大学工程技术学院,乐山614000
推荐引用方式
GB/T 7714
杨发展,沈丽如,王世庆,等. 等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究[J],2013,0:441-447.
APA 杨发展,沈丽如,王世庆,唐德礼,金凡亚,&刘海峰.(2013).等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究.,0,441-447.
MLA 杨发展,et al."等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究".0(2013):441-447.
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