等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究 | |
杨发展; 沈丽如; 王世庆; 唐德礼; 金凡亚; 刘海峰 | |
2013 | |
卷号 | 0页码:441-447 |
关键词 | 脉冲辉光放电 类金刚石膜 Raman光谱 X-射线光电子能谱 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3410347 |
专题 | 成都理工大学 |
作者单位 | 1.[1]核工业西南物理研究院,成都610041 2.[2]成都理工大学工程技术学院,乐山614000 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨发展,沈丽如,王世庆,等. 等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究[J],2013,0:441-447. |
APA | 杨发展,沈丽如,王世庆,唐德礼,金凡亚,&刘海峰.(2013).等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究.,0,441-447. |
MLA | 杨发展,et al."等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究".0(2013):441-447. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论