| 栅型结构电容式微机械谐振陀螺 | |
| 熊斌 ; 王跃林 ; 李宝清 ; 陆德仁 ; 王渭源 | |
| 2000 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2397473 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型是涉及一种尺寸在毫米量级的栅型结构电容式微机械谐振陀螺，主要由静电驱动电极、电容检测电、栅型结构驱动质量块与检测质量块、支撑质量块的悬空弹性折叠梁和限位锚点构成。其中质量块可以在平面上运动。因对惯性质量块振动的阻尼仅是滑移阻尼，在大气压条件下，器件品质因子可超过１４０。本陀螺用栅结构驱动，有利于信号处理，配上相应测量接口电路，灵敏度高，是一种结构简单，工艺易于实现的实用微型电容式微机械振动陀螺。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2000-09-20 |
| 申请日期 | 1999-09-29 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 99239775.8 |
| 专利代理 | 沈德新 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52895]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,王跃林,李宝清,等. 栅型结构电容式微机械谐振陀螺. CN2397473. 2000-01-01. |
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