| 表面和亚表面状态检测装置 | |
| 李润身 ; 曹卫武 | |
| 1994 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2167365 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型是一种利用表面吸附效应，无损检测材料光滑、超光滑表面显微粗糙度、表面附着物、亚表面损伤和应力缺陷的表面测试装置。它主要由密封罩、产生饱和蒸气的储液槽、均热工作台、致冷器、湿度计、测温探头、显微镜和照相或记录装置构成。使用时，样品在饱和蒸气气氛下冷却结露或霜，然后据此测试对应的表面形貌、附着物和亚表面缺陷等状态。是一种重复性好，可对比，又能迅速获得测试结果的表面和亚表面在线测量装置。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 1994-06-01 |
| 申请日期 | 1993-05-20 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 93225725.9 |
| 专利代理 | 沈德新 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52866]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李润身,曹卫武. 表面和亚表面状态检测装置. CN2167365. 1994-01-01. |
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