采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装

	采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装
	陈骁 ; 罗乐
刊名	功能材料与器件学报
	2010
期号	03
关键词	磷酸铁锂碳纳米管低温性能
ISSN号	1007-4252
中文摘要	采用先进的丝网印刷设备和精密印刷技术,对MEMS器件玻璃浆料气密封装技术,包括丝网印刷、预烧结和键合工艺等进行了深入研究。采用三种不同线宽的丝网板对二次印刷工艺进行了优化,提高了玻璃浆料的平整度和均匀性。经烧结键合后的封装体具有较高的封接强度(剪切力>12kg)及良好的气密性(氦气精检合格率100%),可实现高质量的圆片级气密封装。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52455]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陈骁,罗乐. 采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装[J]. 功能材料与器件学报,2010(03).
APA	陈骁,&罗乐.(2010).采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装.功能材料与器件学报(03).
MLA	陈骁,et al."采用精密印刷技术的玻璃浆料圆片级气密封装".功能材料与器件学报 .03(2010).