基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

	基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
	高安然 ; 李铁 ; 刘翔 ; 焦继伟 ; 王跃林
刊名	测试技术学报
	2010
期号	05
关键词	MEMS陀螺深反应离子刻蚀非对称结构局域掩膜效应模态失配
ISSN号	1671-7449
中文摘要	设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52442]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	高安然,李铁,刘翔,等. 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究[J]. 测试技术学报,2010(05).
APA	高安然,李铁,刘翔,焦继伟,&王跃林.(2010).基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究.测试技术学报(05).
MLA	高安然,et al."基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究".测试技术学报 .05(2010).