pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响 | |
李艳龙 ; 王翊 ; 周宏 ; 刘延祥 ; 李铁 ; 王跃林 | |
刊名 | 光电子.激光
![]() |
2010 | |
期号 | 08 |
关键词 | 低轨通信卫星 频谱感知 信号分解 多分辨率分析 |
ISSN号 | 1005-0086 |
中文摘要 | 为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究。实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作。因此,在设计热电堆时应该尽量避免pn结,可以采用p-Si/n-Si分离结构予以解决。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52421] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李艳龙,王翊,周宏,等. pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响[J]. 光电子.激光,2010(08). |
APA | 李艳龙,王翊,周宏,刘延祥,李铁,&王跃林.(2010).pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响.光电子.激光(08). |
MLA | 李艳龙,et al."pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响".光电子.激光 .08(2010). |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论