pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响

	pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响
	李艳龙 ; 王翊 ; 周宏 ; 刘延祥 ; 李铁 ; 王跃林
刊名	光电子.激光
	2010
期号	08
关键词	低轨通信卫星频谱感知信号分解多分辨率分析
ISSN号	1005-0086
中文摘要	为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究。实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作。因此,在设计热电堆时应该尽量避免pn结,可以采用p-Si/n-Si分离结构予以解决。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52421]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李艳龙,王翊,周宏,等. pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响[J]. 光电子.激光,2010(08).
APA	李艳龙,王翊,周宏,刘延祥,李铁,&王跃林.(2010).pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响.光电子.激光(08).
MLA	李艳龙,et al."pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响".光电子.激光 .08(2010).