CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

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	CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器
	徐德辉 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名	光学学报
	2010
期号	10
关键词	脂蛋白类 LDL 电泳毛细管电泳微芯片冠状动脉疾病
ISSN号	0253-2239
中文摘要	微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52349]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	徐德辉,熊斌,王跃林. CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器[J]. 光学学报,2010(10).
APA	徐德辉,熊斌,&王跃林.(2010).CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器.光学学报(10).
MLA	徐德辉,et al."CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器".光学学报 .10(2010).