两维碰撞加速度传感器及其实用化 | |
周伟 ; 刘民 ; 姜伟 ; 李昕欣 | |
刊名 | 仪表技术与传感器 |
2009 | |
期号 | S1 |
关键词 | 高量程微加速度传感器 横向响应 波形比较法 自由落杆 微机电系统 |
ISSN号 | 1002-1841 |
中文摘要 | 基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500 g的量程下,灵敏度达到0.3 mV/g/5 V,固有频率15k Hz.传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1~4 V,带宽500 Hz.传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52126] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 周伟,刘民,姜伟,等. 两维碰撞加速度传感器及其实用化[J]. 仪表技术与传感器,2009(S1). |
APA | 周伟,刘民,姜伟,&李昕欣.(2009).两维碰撞加速度传感器及其实用化.仪表技术与传感器(S1). |
MLA | 周伟,et al."两维碰撞加速度传感器及其实用化".仪表技术与传感器 .S1(2009). |
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