InP/空气隙结构的制作与特性

	InP/空气隙结构的制作与特性
	刘成 ; 曹春芳 ; 劳燕锋 ; 曹萌 ; 吴惠桢
刊名	光电子.激光
	2008
期号	09
关键词	无线通信虚拟MIMO 天线选择用户设备配对
ISSN号	1005-0086
中文摘要	研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51813]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘成,曹春芳,劳燕锋,等. InP/空气隙结构的制作与特性[J]. 光电子.激光,2008(09).
APA	刘成,曹春芳,劳燕锋,曹萌,&吴惠桢.(2008).InP/空气隙结构的制作与特性.光电子.激光(09).
MLA	刘成,et al."InP/空气隙结构的制作与特性".光电子.激光 .09(2008).