新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制

	新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制
	穆参军 ; 张飞岭 ; 吴亚明
刊名	半导体学报
	2008
期号	03
关键词	毫米波辐射计隐身被动探测与制导地面目标
ISSN号	0253-4177
中文摘要	设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51759]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	穆参军,张飞岭,吴亚明. 新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制[J]. 半导体学报,2008(03).
APA	穆参军,张飞岭,&吴亚明.(2008).新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制.半导体学报(03).
MLA	穆参军,et al."新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制".半导体学报 .03(2008).