基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型 | |
赵楷 ; 熊斌 ; 车录锋 | |
刊名 | 传感技术学报
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2008 | |
期号 | 06 |
关键词 | 小波阈值去噪 阈值函数 雷达信号 |
ISSN号 | 1004-1699 |
中文摘要 | 本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51548] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵楷,熊斌,车录锋. 基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型[J]. 传感技术学报,2008(06). |
APA | 赵楷,熊斌,&车录锋.(2008).基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型.传感技术学报(06). |
MLA | 赵楷,et al."基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型".传感技术学报 .06(2008). |
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