基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型

	基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型
	赵楷 ; 熊斌 ; 车录锋
刊名	传感技术学报
	2008
期号	06
关键词	小波阈值去噪阈值函数雷达信号
ISSN号	1004-1699
中文摘要	本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51548]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	赵楷,熊斌,车录锋. 基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型[J]. 传感技术学报,2008(06).
APA	赵楷,熊斌,&车录锋.(2008).基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型.传感技术学报(06).
MLA	赵楷,et al."基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型".传感技术学报 .06(2008).