开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关

	开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
	贾孟军 ; 李昕欣 ; 宋朝晖 ; 王跃林
刊名	半导体学报
	2007
期号	08
关键词	无线传感器网络包转发博弈论纳什均衡帕累托最优效用
ISSN号	0253-4177
中文摘要	介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过Coventor Ware软件模拟,得到悬臂梁型开关在各种加速度输入信号(阶跃、脉冲和半正弦)情况下的瞬态响应过程.开关的实际阈值范围为1000~5000g,响应速度小于60μs.采用MEMS技术制造开关,并通过冲击加速度测试验证了设计结果.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51459]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	贾孟军,李昕欣,宋朝晖,等. 开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关[J]. 半导体学报,2007(08).
APA	贾孟军,李昕欣,宋朝晖,&王跃林.(2007).开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关.半导体学报(08).
MLA	贾孟军,et al."开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关".半导体学报 .08(2007).