一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析

	一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析
	卢云 ; 徐志农 ; 车录锋
刊名	机械强度
	2007
期号	03
关键词	微型质子交换膜燃料电池硅微机械阳极流场燃料利用率 MEMS技术
ISSN号	1001-9669
中文摘要	提出一种铰链式结构的高量程加速度传感器,该结构可使加速度传感器在保持一定灵敏度的情况下大大提高器件固有频率,从而在更宽的频带内真实地反映冲击过程的加速度信号波形。建立简化模型和改进模型分析该加速度计的力学性能,并用ANSYS模拟验证两种模型的计算结果。其中改进模型考虑了质量块的变形以及梁和铰链的质量影响,提高了器件固有频率的计算精度,计算结果更接近于ANSYS分析结果。最后由模拟分析数据得出该加速度计结构参数的优化。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51429]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	卢云,徐志农,车录锋. 一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析[J]. 机械强度,2007(03).
APA	卢云,徐志农,&车录锋.(2007).一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析.机械强度(03).
MLA	卢云,et al."一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析".机械强度 .03(2007).