一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计

	一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计
	杨广立 ; 冯飞 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名	半导体光电
	2007
期号	03
关键词	微型质子交换膜燃料电池阴极结构自呼吸 MEMS技术
ISSN号	1001-5868
中文摘要	提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51388]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨广立,冯飞,熊斌,等. 一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计[J]. 半导体光电,2007(03).
APA	杨广立,冯飞,熊斌,&王跃林.(2007).一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计.半导体光电(03).
MLA	杨广立,et al."一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计".半导体光电 .03(2007).