微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响

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	微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响
	杨广立 ; 冯飞 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名	光学精密工程
	2007
期号	05
关键词	微系统细胞研究细胞图形化微加工
ISSN号	1004-924X
中文摘要	研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟,分析了器件的热-机械灵敏度,对器件的结构参数进行了优化,并得到其热-机械灵敏度为2.14×10-3rad/K;从器件的频率和阻尼特性出发,研究了器件的机械特性对热振动噪声和机械稳定性能的影响。研究结果表明:绝热梁断裂所需冲击载荷为8 945 g;器件的工作气压确定在50-200 Pa时,其热机械噪声和外界机械振动引起的噪声对器件性能的影响可忽略。该器件基本满足红外成像阵列器件的高灵敏度
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51323]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨广立,冯飞,熊斌,等. 微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响[J]. 光学精密工程,2007(05).
APA	杨广立,冯飞,熊斌,&王跃林.(2007).微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响.光学精密工程(05).
MLA	杨广立,et al."微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响".光学精密工程 .05(2007).