铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟

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	铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟
	车录锋 ; 卢云 ; 徐志农
刊名	光学精密工程
	2007
期号	02
关键词	微加速度计微机械加工各向异性腐蚀
ISSN号	1004-924X
中文摘要	给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响,封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大,但是灌封胶弹性模量很小时(E≤1 GPa)会导致加速度传感器信号失真。模拟结果表明,可以选择弹性模量足够高的材料(E>9 GPa)作为高冲击加速度传感器的灌封材料。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51105]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	车录锋,卢云,徐志农. 铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟[J]. 光学精密工程,2007(02).
APA	车录锋,卢云,&徐志农.(2007).铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟.光学精密工程(02).
MLA	车录锋,et al."铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟".光学精密工程 .02(2007).