电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用

	电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用
	王彬 ; 陈翔 ; 金庆辉 ; 赵建龙 ; 徐元森
刊名	微纳电子技术
	2006
期号	01
关键词	碳纳米管数码管场发射冷阴极
ISSN号	1671-4776
中文摘要	阐述了电磁 M EM S 技术在生物医学工程中的应用,包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振 (N M R )及其他生物医学器械微型化改进等。介绍了电磁 M EM S 技术中的典型制作技术,展望了电磁 M EM S 技术的应用前景。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50831]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王彬,陈翔,金庆辉,等. 电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用[J]. 微纳电子技术,2006(01).
APA	王彬,陈翔,金庆辉,赵建龙,&徐元森.(2006).电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用.微纳电子技术(01).
MLA	王彬,et al."电磁MEMS及其在生物医学工程中的应用".微纳电子技术 .01(2006).