微机电光学电流传感器的设计

	微机电光学电流传感器的设计
	赵本刚 ; 徐静 ; 高翔 ; 刘玉菲 ; 吴亚明
刊名	电子元件与材料
	2006
期号	12
关键词	微型直接甲醇燃料电池催化剂膜电极组件质子交换膜
ISSN号	1001-2028
中文摘要	提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果。计算表明,器件可以测试1~7.2kA的交流电,大电流下的灵敏度可达到0.01dB/A以上。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50813]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	赵本刚,徐静,高翔,等. 微机电光学电流传感器的设计[J]. 电子元件与材料,2006(12).
APA	赵本刚,徐静,高翔,刘玉菲,&吴亚明.(2006).微机电光学电流传感器的设计.电子元件与材料(12).
MLA	赵本刚,et al."微机电光学电流传感器的设计".电子元件与材料 .12(2006).