微机械面型微加热器的热学分析

	微机械面型微加热器的热学分析
	吴雷 ; 李铁 ; 王立春 ; 王翊 ; 王跃林
刊名	功能材料与器件学报
	2005
期号	04
关键词	离子束辅助沉积铪膜择优取向
ISSN号	1007-4252
中文摘要	针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50501]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	吴雷,李铁,王立春,等. 微机械面型微加热器的热学分析[J]. 功能材料与器件学报,2005(04).
APA	吴雷,李铁,王立春,王翊,&王跃林.(2005).微机械面型微加热器的热学分析.功能材料与器件学报(04).
MLA	吴雷,et al."微机械面型微加热器的热学分析".功能材料与器件学报 .04(2005).