基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作

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	基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作
	冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名	光学学报
	2004
期号	10
关键词	高量程MEMS加速度计胶粘工艺圆片级封装
ISSN号	0253-2239
中文摘要	提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完成了可动微镜结构、热机械、可见光读出部分设计。理论分析表明 ,对Al/SiO2 双材料体系而言 ,SiO2 厚度应大于 0 .3μm ,其最佳厚度比为 0 .5 98,相应的最大热机械灵敏度可达 10 -8m/K。采用体硅微机电系统技术 ,实验制作出了 5 0× 5 0焦平
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50249]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	冯飞,焦继伟,熊斌,等. 基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作[J]. 光学学报,2004(10).
APA	冯飞,焦继伟,熊斌,&王跃林.(2004).基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作.光学学报(10).
MLA	冯飞,et al."基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作".光学学报 .10(2004).