大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

	大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作
	王浙辉 ; 李铁 ; 王跃林
刊名	功能材料与器件学报
	2003
期号	03
关键词	自动测试平台虚似仪器小卫星
ISSN号	1007-4252
中文摘要	报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49987]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王浙辉,李铁,王跃林. 大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作[J]. 功能材料与器件学报,2003(03).
APA	王浙辉,李铁,&王跃林.(2003).大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作.功能材料与器件学报(03).
MLA	王浙辉,et al."大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作".功能材料与器件学报 .03(2003).