高量程加速度计的力学性能分析

	高量程加速度计的力学性能分析
	王钻开 ; 宗登刚 ; 陆德仁
刊名	机械强度
	2002
期号	04
关键词	埋氧层绝缘体上硅总剂量辐射效应模型背栅
ISSN号	1001-9669
中文摘要	提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试 ,结果与改进模型基本相符
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49773]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王钻开,宗登刚,陆德仁. 高量程加速度计的力学性能分析[J]. 机械强度,2002(04).
APA	王钻开,宗登刚,&陆德仁.(2002).高量程加速度计的力学性能分析.机械强度(04).
MLA	王钻开,et al."高量程加速度计的力学性能分析".机械强度 .04(2002).