| 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法 | |
| 李铁 ; 皋华敏 ; 刘翔 ; 周萍 ; 王跃林 | |
| 2009-10-21 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101559914 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特 征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板 的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和 疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏 水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布 于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层 组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板 结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2009-10-21 |
| 申请日期 | 2009-05-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910051290.1 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49087]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李铁,皋华敏,刘翔,等. 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法. CN101559914. 2009-10-21. |
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