CORC  > 西安交通大学
题名高端IC封装器件切割用Cu基金刚石锯刀的热压烧结工艺设计与优化
作者马艳平
答辩日期2013
导师南俊马
关键词Cu基金刚石锯片热压烧结工艺致密性合金化在线测试
学位名称工学硕士
WOS记录号[db:dc_identifier_wosid]
DOI标识[db:dc_identifier_doi]
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内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3309648
专题西安交通大学
推荐引用方式
GB/T 7714
马艳平. 高端IC封装器件切割用Cu基金刚石锯刀的热压烧结工艺设计与优化[D]. 2013.
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